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涡轮分子泵的运用

发布时间:2020年03月21日 08:47   阅读:918   返回   来源:泽德

  涡轮分子泵的正常运行需要小于10pa的前压强,旋转叶片机械泵可以用作前级泵。涡轮分子泵有一种特殊的中频电源,它为泵中的电机提供动力。启动中频电源后,泵的转速可在几分钟内达到额定值。泵的额定转速一般在30000~50000 r/min之间。立式泵需要垂直放置,轴承高速旋转在泵中,需要用冷却水冷却。

  为了达到分子泵的最终真空度,应烘烤被抽吸体和泵体。由于泵体的连接部分是用橡胶密封的,所以泵体的烘焙温度不应太高,即100-120 C。

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  涡轮分子泵与大分子相对质量气体的压缩比较大,极限真空度主要取决于小分子相对质量气体的组成,如H2、He等。此外,容器和泵体释放的水蒸气也是影响最终真空度的重要因素。

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